Описание:
Оптоволоконные спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрируемые в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном они используются совместно с профессиональными оптическими модулями и применяют оптоволоконную схему передачи для регистрации эмиссии плазмы, а также спектров отражения и пропускания внутри технологических камер. Широко применяются для определения конечной точки травления, метрологии тонких пленок и мониторинга состояния плазмы в реальном времени; эти устройства обеспечивают стабильность технологического процесса, повышают выход годной продукции и снижают количество дефектных изделий в процессах травления, CVD, PVD и других вакуумных производственных операциях. Будучи оригинальными OEM-совместимыми компонентами, они отличаются отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для полноcерийного оборудования LAM.
Ключевые характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ-видимый диапазон длин волн для удовлетворения различных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные волоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять конечную точку травления, измерять толщину тонких пленок и оптические свойства, эффективно предотвращая пере- и недотравливание.
- Встроенные порты связи Ethernet и RS-232, полностью совместимые с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции систем.
- Компактная и прочная конструкция с устойчивостью к вибрациям и помехам. Поддерживает круглосуточную непрерывную работу и простую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение конечной точки в процессах травления пластин
- Измерение толщины тонких пленок и коэффициента отражения in-situ
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные технологические платформы
Часто задаваемые вопросы:
Q1: Каково состояние продукта и гарантия?
A: Новые оригинальные изделия. Включена гарантия 1 год.
Q2: Каковы условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь с службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные картонные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.