Описание:
Фиброоптические спектрометры LAM Research — это высокоточные оптические устройства мониторинга, интегрируемые в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном используются совместно с профессиональными оптическими модулями, они применяют конструкцию с волоконно-оптической передачей для регистрации эмиссионных, отражательных и пропускательных спектров плазмы внутри технологических камер. Широко применяются для определения конечной точки травления, метрологии тонких пленок и мониторинга состояния плазмы в реальном времени; данные устройства обеспечивают стабильную производительность процесса, повышают выход годной продукции и уменьшают количество дефектных изделий в процессах травления, CVD, PVD и других вакуумных производственных процедурах. Как OEM-совместимые оригинальные компоненты, они обладают отличной совместимостью и долгосрочной надежностью для всей серии процессного оборудования LAM.
Ключевые характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими выдающееся спектральное разрешение и низкий уровень шума. Охватывают УФ-видимый диапазон длин волн для удовлетворения различных потребностей мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные волоконные интерфейсы SMA поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуум-совместимые зонды стабильно работают в условиях высокого вакуума, высокой температуры и плазмы.
- Анализ спектра в реальном времени обеспечивает точное определение конечной точки травления, измерение толщины тонких пленок и оптических свойств, эффективно предотвращая перетравливание и недотравливание.
- Встроенные коммуникационные порты Ethernet и RS-232 полностью совместимы с протоколами оборудования LAM для бесшовного обмена данными и интеграции системы.
- Компактная и прочная конструкция с защитой от вибраций и помех. Поддерживает непрерывную работу 24/7 и простую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение конечной точки процессов травления пластин
- In-situ измерение толщины тонких пленок и коэффициента отражения
- Анализ состояния плазмы в реальном времени для вакуумных технологических камер
- LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные процессные платформы
FAQ:
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные товары. Гарантия 1 год включена.
В2: Какие у вас условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные картонные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.