Описание:
Оптические спектрометры LAM Research с волоконной оптикой — это высокоточные устройства для оптического мониторинга, интегрированные в оборудование для обработки полупроводниковых пластин. В основном они используются вместе с профессиональными оптическими модулями и имеют конструкцию с передачей через оптическое волокно для захвата спектров излучения плазмы, отражения и пропускания внутри рабочих камер. Широко применяются для определения конечной точки травления, измерения тонких пленок и мониторинга состояния плазмы в реальном времени, обеспечивая стабильность процесса, повышение выхода продукции и снижение количества дефектных изделий при травлении, CVD, PVD и других вакуумных процессах. Как оригинальные совместимые OEM-компоненты, они обладают отличной совместимостью и долговременной надежностью для всех серийных инструментов LAM.
Ключевые характеристики:
- Оснащены высокочувствительными детекторами CCD/PMT, обеспечивающими отличное спектральное разрешение и низкий уровень шума. Покрывают диапазон длин волн от УФ до видимого спектра для удовлетворения различных требований мониторинга полупроводниковых процессов.
- Стандартные SMA-волоконные интерфейсы поддерживают передачу сигнала на большие расстояния. Вакуумные зонды работают стабильно в условиях высокого вакуума, высоких температур и плазменной среды.
- Анализ спектра в реальном времени позволяет точно определять конечную точку травления, измерять толщину и оптические свойства тонких пленок, эффективно предотвращая пере- и недотравление.
- Встроенные порты Ethernet и RS-232 полностью совместимы с протоколами оборудования LAM для бесшовного взаимодействия данных и интеграции системы.
- Компактная и прочная конструкция с защитой от вибрации и помех. Поддерживает круглосуточную непрерывную работу и легкую замену на месте.
Типичные области применения:
- Системы плазменного травления, оборудование для осаждения тонких пленок CVD, PVD и ALD
- Определение конечной точки процессов травления пластин
- Измерение толщины и отражательной способности тонких пленок на месте
- Анализ состояния плазмы в реальном времени в вакуумных рабочих камерах
- Платформы обработки LAM Research 2300, 9400, ExAL и другие основные системы
Часто задаваемые вопросы:
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
О: Абсолютно новые оригинальные изделия. Включена 1-летняя гарантия.
В2: Какие условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T и Paypal.
В3: Каков срок доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели есть на складе, доставка через 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь с отделом обслуживания клиентов для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. После отправки предоставляется номер отслеживания и ссылка. Полный контроль процесса осуществляет наша команда.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная брендовая упаковка с усиленной защитой (пенопласт, герметичные коробки, деревянные ящики для точного оборудования). Защита от влаги и ударов.