Описание:
Оригинальный американский вакуумный дроссельный поворотный клапан MKS с прямым углом, разработанный для точного управления откачкой и регулирования давления в камере в высоковакуумных процессах. Уникальная 90° компоновка экономит пространство шкафа установки, встроенный высокоскоростной шаговый двигатель и высокоразрешающий датчик положения обеспечивают ультрастабильное линейное управление давлением. Корпус клапана из нержавеющей стали с уплотнениями с низким газовыделением, совместим с несколькими стандартами фланцев, доступны аналоговые/цифровые варианты связи. В наличии новые оригинальные и полностью восстановленные протестированные единицы, глобальная доставка DAP и полная техническая документация.
Ключевые характеристики:
- Вертикальная 90-градусная конструкция потока значительно уменьшает занимаемое горизонтальное пространство трубопровода, облегчает установку внутри компактных кластерных инструментов для полупроводников и вакуумных шкафов.
- Запатентованный нелинейный приводной механизм оптимизирует движение заслонки, обеспечивает линейную регулировку потока, минимальный перерегулирование давления, стабильные и воспроизводимые технологические рецепты.
- Шаговый двигатель с высоким крутящим моментом, полное открытие/закрытие за 200 мс; утолщенная заслонка предотвращает накопление пыли, длительный срок службы в условиях коррозионных газов травления и осаждения.
- Полностью корпус клапана из нержавеющей стали, уплотнение из фторкаучука с низким газовыделением, соответствует стандартам чистых помещений высокого вакуума; поддерживает версию с нагревом до 200℃ для предотвращения конденсации технологических газов.
- Множество вариантов фланцев: ISO-KF, ISO-F, CF; поддержка 0-10V аналогового сигнала, RS232, EtherCAT, DeviceNet связи. Полные модели в наличии, предоставляются схемы подключения, руководства по эксплуатации и удаленная техническая поддержка.
Часто задаваемые вопросы:
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
О: Оригинальные новые изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Какое время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный мониторинг процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионных узлов). Защита от влаги и ударов.