Описание:
Оригинальный произведённый в США MKS вакуумный дроссельный поворотный клапан с прямым углом, разработанный для точного регулирования потока откачки и давления в камере в высоковакуумных процессах. Уникальная компоновка под 90° экономит пространство в шкафу установки, встроенный высокоскоростной шаговый двигатель и высокоразрешающий энкодер положения обеспечивают сверхстабильное линейное управление давлением. Корпус клапана из нержавеющей стали с уплотнениями с низким газовыделением, совместим с несколькими стандартами фланцев, доступны аналоговые/цифровые интерфейсы связи. В наличии новые оригинальные и полностью восстановленные протестированные устройства, глобальная доставка DAP и полная техническая документация.
Ключевые характеристики:
- Вертикальная конструкция потока под углом 90 градусов значительно уменьшает занимаемое пространство горизонтального трубопровода, легко устанавливается внутри компактных кластерных установок для полупроводников и вакуумных шкафов.
- Запатентованный нелинейный приводной механизм оптимизирует движение заслонки, обеспечивает линейную регулировку потока, минимальный перерегулирование давления и стабильные воспроизводимые технологические рецепты.
- Высокомоментный шаговый двигатель, полное открытие/закрытие за 200ms; утолщённая заслонка предотвращает накопление пыли, длительный срок службы в условиях коррозионных газов при травлении и осаждении.
- Корпус клапана из полностью нержавеющей стали, уплотнение из фторкаучука с низким газовыделением соответствует стандартам чистых помещений высокого вакуума; поддерживает нагреваемую версию до 200℃ для предотвращения конденсации технологических газов.
- Несколько вариантов фланцев: ISO-KF, ISO-F, CF; поддержка аналогового сигнала 0-10V, RS232, EtherCAT, DeviceNet. Полные модели в наличии, предоставляются схемы подключения, руководства по эксплуатации и удалённая техническая поддержка.
Часто задаваемые вопросы:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:What is your payment terms?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Каково время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A: Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Отгрузка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный мониторинг процесса нашей командой.
Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.