Описание:
Оригинальный вакуумный дроссельный поворотный клапан MKS американского производства с прямым углом, разработанный для точного регулирования потока откачки и давления в камере в процессах высокого вакуума. Уникальная 90° прямоугольная компоновка экономит место в шкафу установки, встроенный высокоскоростной шаговый двигатель и высокоразрешающий датчик положения обеспечивают сверхстабильное линейное управление давлением. Корпус клапана из нержавеющей стали с уплотнением с низким газовыделением, совместим с несколькими стандартами фланцев, доступны аналоговые и цифровые варианты связи. Новые оригинальные и полностью восстановленные протестированные единицы в наличии, глобальная доставка DAP и полная техническая документация поддерживаются.
Ключевые характеристики:
- Вертикальная конструкция потока под углом 90° значительно сокращает занятость горизонтальных трубопроводов, легко устанавливается внутри компактных кластерных полупроводниковых установок и вакуумных шкафов.
- Запатентованный нелинейный приводной механизм оптимизирует движение заслонки, обеспечивает линейную регулировку потока, минимальное перерегулирование давления, стабильные и воспроизводимые технологические рецепты.
- Высокомоментный шаговый двигатель, полное открытие/закрытие в течение 200 мс; утолщённая заслонка предотвращает накопление пыли, длительный срок службы в среде коррозионных газов травления и осаждения.
- Полностью корпус клапана из нержавеющей стали, фторкаучуковое уплотнение с низким газовыделением, соответствует стандартам чистых помещений высокого вакуума; поддержка нагреваемой версии до 200℃ для предотвращения конденсации технологических газов.
- Несколько вариантов фланцев: ISO-KF, ISO-F, CF; поддержка аналогового сигнала 0–10 В, RS232, EtherCAT, DeviceNet. Полный ассортимент моделей в наличии, предоставляются схемы подключения, руководства по эксплуатации и удалённая техническая поддержка.
Часто задаваемые вопросы:
В1: Какое состояние продукта и какая гарантия?
О: Совершенно новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год.
В2: Какие у вас условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, PayPal.
В3: Каковы сроки поставки продукта? Достаточно ли запасов?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.