Описание:
MKS RF Matchers (также называемые RF-устройствами согласования / согласующими сетями) — это высокопроизводительные автоматические устройства согласования импеданса, разработанные для полупроводниковых и промышленных плазменных систем. Они динамически согласуют выходной импеданс 50Ω RF-генераторов с переменным импедансом плазменных камер, установок травления, PECVD и установок напыления, минимизируя отражённую мощность и максимизируя эффективность передачи мощности. Благодаря быстрой настройке, надёжному экранированию и компактному исполнению для монтажа в стойку, они обеспечивают стабильный поджиг плазмы, стабильную производительность процессов и круглосуточную надёжность производства. Доступны в новом, восстановленном и полностью протестированном б/у состоянии.
Ключевые характеристики:
- Автоматическое согласование импеданса: Настройка в реальном времени для согласования выходного сигнала генератора 50Ω с переменным импедансом плазменной нагрузки; минимизирует отражённую мощность (обычно
- Быстрая настройка: Высокоскоростная реакция (
- Широкий диапазон частот и мощности: Поддержка 13.56MHz(стандарт), 27.12MHz, 40.68MHz; диапазон мощности от 300W до 10kW
- Прочная конструкция: Усиленный металлический корпус с экранированием EMI/RFI; стандартное воздушное охлаждение(опционально водяное охлаждение для высокомощных моделей)
- Прецизионные компоненты: Высококачественные переменные конденсаторы, катушки индуктивности и шаговые двигатели для длительного срока службы (1,000,000+ циклов)
Области применения:
- Производство полупроводников: травление RIE/ICP, осаждение PECVD/LPCVD, плазменное озоление, очистка пластин, системы шлюзовых камер
- Вакуумное напыление: магнетронное распыление, испарение, осаждение тонких плёнок PVD/CVD для оптики, дисплеев и солнечных элементов
- Промышленная плазменная обработка: активация поверхности, очистка, травление и нанесение покрытий для металлов, пластика и керамики
- Исследования и разработка: университетские лаборатории, исследовательские институты и пилотные производственные линии, требующие стабильной подачи RF-плазмы
FAQ:
Q1:Каково состояние продукта и гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
A:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные картонные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Влагостойкая и ударопрочная.