Описание:
MKS RF Matchers (также называемые RF matching boxes/networks) — это высокопроизводительные автоматические устройства согласования импеданса, разработанные для полупроводниковых и промышленных плазменных систем. Они динамически согласуют выходной импеданс 50Ω RF-генераторов с переменным импедансом плазменных камер, травителей, PECVD и установок напыления, минимизируя отражённую мощность и максимизируя эффективность передачи мощности. Благодаря быстрой настройке, надёжному экранированию и компактному исполнению для монтажа в стойку, они обеспечивают стабильное зажигание плазмы, стабильную производительность процесса и круглосуточную надёжность производства. Доступны в новых, восстановленных и полностью протестированных б/у состояниях.
Ключевые характеристики:
- Автоматическое согласование импеданса: Настройка в реальном времени для согласования выходного сигнала генератора 50Ω с переменным импедансом плазменной нагрузки; минимизирует отражённую мощность (обычно
- Быстрая скорость настройки: Высокоскоростной отклик (менее 1 секунды для большинства моделей) для быстрого зажигания плазмы и восстановления после переходных изменений нагрузки
- Широкий диапазон частот и мощности: Поддержка 13.56MHz(standard), 27.12MHz, 40.68MHz; диапазон мощности от 300W до 10kW
- Прочная конструкция: Усиленный металлический корпус с экранированием EMI/RFI; стандартное воздушное охлаждение(опция водяного охлаждения для высокомощных моделей)
- Прецизионные компоненты: Высококачественные переменные конденсаторы, катушки индуктивности и шаговые двигатели для длительного срока службы (1,000,000+ циклов)
Области применения:
- Производство полупроводников: RIE/ICP травление, PECVD/LPCVD осаждение, плазменное озоление, очистка пластин, системы загрузочных шлюзов
- Вакуумное покрытие: Магнетронное распыление, испарение, PVD/CVD осаждение тонких плёнок для оптики, дисплеев и солнечных элементов
- Промышленная плазменная обработка: Активация поверхности, очистка, травление и нанесение покрытий для металлов, пластмасс и керамики
- Исследования и разработки: университетские лаборатории, исследовательские институты и пилотные производственные линии, требующие стабильной подачи RF-плазмы
Часто задаваемые вопросы:
В1: Каково состояние продукта и гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
В2: Каковы условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, Paypal.
В3: Каково время доставки продукта? Достаточно ли запасов?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4: Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5: Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.