Описание:
MKS RF Matchers (также называемые RF matching boxes/networks) — это высокопроизводительные автоматические устройства согласования импеданса, разработанные для полупроводниковых и промышленных плазменных систем. Они динамически согласуют выходной импеданс 50Ω RF-генераторов с переменным импедансом плазменных камер, травителей, PECVD и установок напыления (sputtering), минимизируя отражённую мощность и максимизируя эффективность передачи энергии. Благодаря быстрому тюнингу, надёжному экранированию и компактному стоечному (rack-mount) исполнению они обеспечивают стабильный поджиг плазмы, стабильность технологического процесса и надёжность производства 24/7. Доступны в новом, восстановленном и полностью протестированном бывшем в употреблении состоянии.
Ключевые характеристики:
- Автоматическое согласование импеданса: Настройка в реальном времени для согласования выходного импеданса генератора 50Ω с переменным импедансом плазменной нагрузки; минимизирует отражённую мощность (обычно
- Высокая скорость настройки: Быстродействующий отклик (менее 1 секунды для большинства моделей) для быстрого поджига плазмы и восстановления после переходных изменений нагрузки
- Широкий диапазон частот и мощности: Поддержка 13.56MHz (стандарт), 27.12MHz, 40.68MHz; диапазон мощности от 300W до 10kW
- Прочная конструкция: Усиленный металлический корпус с экранированием EMI/RFI; стандартное воздушное охлаждение (водяное охлаждение опционально для высокомощных моделей)
- Прецизионные компоненты: Высококачественные переменные конденсаторы, катушки индуктивности и шаговые двигатели для длительного срока службы (1,000,000+ циклов)
Области применения:
- Производство полупроводников: травление RIE/ICP, осаждение PECVD/LPCVD, плазменное озоление, очистка пластин, системы load lock
- Вакуумное покрытие: напыление (sputtering), испарение, PVD/CVD нанесение тонких плёнок для оптики, дисплеев и солнечных элементов
- Промышленная плазменная обработка: активация поверхности, очистка, травление и нанесение покрытий для металлов, пластика и керамики
- Научные исследования и разработка: университетские лаборатории, исследовательские институты и пилотные производственные линии, требующие стабильной подачи RF-плазмы
Часто задаваемые вопросы:
Q1:Какое состояние продукта и какая гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Гарантия 1 год включена.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки продукта? Достаточно ли товара на складе?
A:Стандартные модели есть на складе, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.