Описание:
RF-матчеры (также называемые RF-согласующими блоками/сетями) — это высокопроизводительные автоматические устройства согласования импеданса, разработанные для полупроводниковых и промышленных плазменных систем. Они динамически согласуют выходное сопротивление 50Ω RF-генераторов с переменным импедансом плазменных камер, травителей, PECVD и установок магнетронного распыления, минимизируя отражённую мощность и максимизируя эффективность передачи энергии. Благодаря быстрой настройке, прочному экранированию и компактному исполнению для монтажа в стойку, они обеспечивают стабильный поджиг плазмы, стабильные технологические параметры и круглосуточную производственную надёжность (24/7). Доступны в новых, восстановленных и полностью протестированных б/у состояниях.
Ключевые характеристики:
- Автоматическое согласование импеданса: настройка в реальном времени для согласования выходного сигнала генератора 50Ω с переменным импедансом плазменной нагрузки; минимизирует отражённую мощность (обычно
- Высокая скорость настройки: высокоскоростной отклик (
- Широкий диапазон частот и мощности: поддержка 13.56MHz (стандарт), 27.12MHz, 40.68MHz; диапазон мощности от 300W до 10kW
- Прочная конструкция: усиленный металлический корпус с экранированием EMI/RFI; стандартное воздушное охлаждение (опция водяного охлаждения для высокомощных моделей)
- Прецизионные компоненты: высококачественные переменные конденсаторы, катушки индуктивности и шаговые двигатели для длительного срока службы (1,000,000+ циклов)
Области применения:
- Производство полупроводников: травление RIE/ICP, осаждение PECVD/LPCVD, плазменное озоление, очистка пластин, системы шлюзовых камер (load lock)
- Вакуумное покрытие: магнетронное распыление, испарение, PVD/CVD осаждение тонких плёнок для оптики, дисплеев и солнечных элементов
- Промышленная плазменная обработка: активация поверхности, очистка, травление и нанесение покрытий для металлов, пластиков и керамики
- Исследования и разработки: университетские лаборатории, научно-исследовательские институты и опытно-промышленные линии, требующие стабильной подачи RF-плазмы
FAQ:
Q1:Какое состояние продукта и какая гарантия?
A:Новые оригинальные изделия. Включена 1-летняя гарантия.
Q2:Какие у вас условия оплаты?
A:T/T, Paypal поддерживаются.
Q3: Какое время доставки товара? Есть ли достаточный запас?
A:Стандартные модели есть в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4:Доставка и отслеживание
A:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5:Упаковка и безопасность
A:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Защита от влаги и ударов.