Описание:
MKS RF Matchers (также называемые RF matching boxes/networks) — это высокопроизводительные автоматические устройства согласования импеданса, разработанные для полупроводниковых и промышленных плазменных систем. Они динамически согласуют выходной импеданс 50Ω RF-генераторов с переменным импедансом плазменных камер, травителей, PECVD и установок напыления (sputtering), минимизируя отражённую мощность и максимизируя эффективность передачи мощности. Благодаря быстрой настройке, надёжному экранированию и компактному исполнению для монтажа в стойку, они обеспечивают стабильный поджиг плазмы, стабильную производительность процесса и круглосуточную надёжность производства. Доступны в новом, восстановленном и полностью протестированном б/у состоянии.
Ключевые характеристики:
- Автоматическое согласование импеданса: Настройка в реальном времени для согласования выходного импеданса генератора 50Ω с переменным импедансом плазменной нагрузки; минимизирует отражённую мощность (обычно
- Быстрая скорость настройки: Высокоскоростной отклик (менее 1 секунды для большинства моделей) для быстрого зажигания плазмы и восстановления после переходных изменений нагрузки
- Широкий диапазон частот и мощности: Поддержка 13.56 MHz (стандарт), 27.12 MHz, 40.68 MHz; диапазон мощности от 300 Вт до 10 кВт
- Прочная конструкция: Усиленный металлический корпус с экранированием EMI/RFI; стандартное воздушное охлаждение (опционально водяное охлаждение для высокомощных моделей)
- Прецизионные компоненты: Высококачественные переменные конденсаторы, катушки индуктивности и шаговые двигатели для длительного срока службы (1 000 000+ циклов)
Применение:
- Производство полупроводников: травление RIE/ICP, осаждение PECVD/LPCVD, плазменное озоление, очистка пластин, системы загрузочных шлюзов
- Вакуумное напыление: распыление (sputtering), испарение, тонкоплёночное осаждение PVD/CVD для оптики, дисплеев и солнечных элементов
- Промышленная плазменная обработка: активация поверхности, очистка, травление и нанесение покрытий для металлов, пластиков и керамики
- Научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы: университетские лаборатории, исследовательские институты и пилотные производственные линии, требующие стабильной подачи RF-плазмы
FAQ:
Q1: Каково состояние продукта и гарантия?
A: Абсолютно новые оригинальные товары. Гарантия 1 год включена.
Q2: Какие у вас условия оплаты?
A: Поддерживаются T/T, Paypal.
Q3: Какое время доставки товара? Достаточно ли запасов на складе?
A: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
Q4: Доставка и отслеживание
A: Доступны DHL/FedEx/UPS. Номер отслеживания + ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
Q5: Упаковка и безопасность
A: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пеноматериал, запечатанные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчива к влаге и ударам.