Описание:
MKS RF Matchers (также называемые RF согласующими блоками/сетями) — это высокопроизводительные автоматические устройства согласования импеданса, разработанные для полупроводниковых и промышленных плазменных систем. Они динамически согласуют выходное сопротивление 50Ω RF-генераторов с переменным импедансом плазменных камер, травителей, PECVD и установок напыления (sputtering), минимизируя отражённую мощность и максимизируя эффективность передачи энергии. Благодаря быстрой настройке, прочному экранированию и компактным стоечным (rack-mount) конструкциям они обеспечивают стабильный розжиг плазмы, стабильные технологические параметры и круглосуточную производственную надёжность. Доступны в новом, восстановленном и полностью протестированном бывшем в употреблении состоянии.
Основные характеристики:
- Автоматическое согласование импеданса: настройка в реальном времени для согласования выхода генератора 50Ω с переменным импедансом плазменной нагрузки; минимизирует отражённую мощность (обычно
- Быстрая скорость настройки: высокоскоростной отклик (
- Широкий диапазон частот и мощности: поддерживает 13.56MHz (стандарт), 27.12MHz, 40.68MHz; мощность от 300W до 10kW
- Прочная конструкция: усиленный металлический корпус с экранированием EMI/RFI; стандартное воздушное охлаждение (опция водяного охлаждения для высокомощных моделей)
- Прецизионные компоненты: высококачественные переменные конденсаторы, катушки индуктивности и шаговые двигатели для длительного срока службы (1,000,000+ циклов)
Области применения:
- Полупроводниковое производство: травление RIE/ICP, осаждение PECVD/LPCVD, плазменное озоление, очистка пластин (wafer), системы load lock
- Вакуумное нанесение покрытий: магнетронное распыление (sputtering), испарение, PVD/CVD тонкоплёночное осаждение для оптики, дисплеев и солнечных элементов
- Промышленная плазменная обработка: активация поверхности, очистка, травление и нанесение покрытий для металлов, пластиков и керамики
- Исследования и разработка: университетские лаборатории, исследовательские институты и пилотные производственные линии, требующие стабильной подачи RF-плазмы
Часто задаваемые вопросы:
В1:Каково состояние продукта и гарантия?
О: Новые оригинальные изделия. Включена 1-летняя гарантия.
В2:Каковы условия оплаты?
О: Поддерживаются T/T, PayPal.
В3: Каково время доставки продукта? Есть ли достаточный запас?
О: Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя—свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4:Доставка и отслеживание
О: Доступны DHL/FedEx/UPS.После отправки предоставляется номер отслеживания и ссылка. Полный контроль процесса нашей командой.
В5:Упаковка и безопасность
О: Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.