Описание:
MKS RF Matchers (также называемые RF-согласующими блоками/сетями) — это высокопроизводительные автоматические устройства согласования импеданса, разработанные для полупроводниковых и промышленных плазменных систем. Они динамически согласуют выходной импеданс 50Ω RF-генераторов с переменным импедансом плазменных камер, травителей, PECVD и установок напыления (sputtering), минимизируя отраженную мощность и максимизируя эффективность передачи мощности. Благодаря быстрой настройке, надежному экранированию и компактному исполнению для монтажа в стойку, они обеспечивают стабильное зажигание плазмы, стабильную производительность процессов и круглосуточную производственную надежность. Доступны в новом, восстановленном и полностью протестированном бывшем в употреблении состоянии.
Ключевые характеристики:
- Автоматическое согласование импеданса: Настройка в реальном времени для согласования выходного импеданса 50Ω генератора с переменным импедансом плазменной нагрузки; минимизирует отраженную мощность (обычно
- Быстрая скорость настройки: Высокоскоростной отклик (менее 1 секунды для большинства моделей) для быстрого зажигания плазмы и восстановления при переходных нагрузках
- Широкий диапазон частот и мощности: Поддерживает 13.56MHz (стандарт), 27.12MHz, 40.68MHz; диапазон мощности от 300W до 10kW
- Прочная конструкция: Усиленный металлический корпус с экранированием EMI/RFI; стандартное воздушное охлаждение (опционально водяное охлаждение для мощных моделей)
- Прецизионные компоненты: высококачественные переменные конденсаторы, катушки индуктивности и шаговые двигатели для длительного срока службы (1,000,000+ циклов)
Области применения:
- Производство полупроводников: травление RIE/ICP, осаждение PECVD/LPCVD, плазменное озоление, очистка пластин, системы шлюзовой загрузки
- Вакуумное нанесение покрытий: магнетронное распыление (sputtering), испарение, осаждение тонких пленок PVD/CVD для оптики, дисплеев и солнечных элементов
- Промышленная плазменная обработка: активация поверхности, очистка, травление и нанесение покрытий для металлов, пластмасс и керамики
- Исследования и разработки: университетские лаборатории, исследовательские институты и пилотные производственные линии, требующие стабильной подачи RF-плазмы
Часто задаваемые вопросы:
В1:Какое состояние продукта и гарантия?
О:Новые оригинальные изделия. 1-летняя гарантия включена.
В2:Какие у вас условия оплаты?
О:T/T, Paypal поддерживается.
В3: Каковы сроки доставки продукта? Есть ли достаточный запас на складе?
О:Стандартные модели в наличии, отправка в течение 3–5 рабочих дней после оплаты. Редкие модели требуют заказа у производителя — свяжитесь со службой поддержки для уточнения сроков.
В4:Доставка и отслеживание
О:DHL/FedEx/UPS доступны. Номер отслеживания и ссылка предоставляются после отправки. Полный контроль процесса нашей командой.
В5:Упаковка и безопасность
О:Оригинальная фирменная упаковка с усиленной защитой (пена, герметичные коробки, деревянные ящики для прецизионного оборудования). Устойчиво к влаге и ударам.